Министерство промышленности и торговли Российской Федерации выделит более 1,43 миллиарда рублей на создание отечественной автоматизированной установки для жидкостной химической обработки кремниевых пластин диаметром до 200 мм. Эта информация была размещена на портале государственных закупок.

По имеющимся документам, запланированная установка будет предназначена для выполнения автоматических операций травления, очистки и сушки кремниевых пластин диаметрами 100, 150 и 200 мм, которые используются в производстве микроэлектроники. Ожидается, что оборудование будет обрабатывать не менее 100 пластин за один цикл.

Система будет функционировать с использованием как минимум восьми различных химических реагентов и деонизированной воды, и в её составе предусмотрен автоматизированный выбор реагента.

Согласно условиям документации, основные компоненты установки должны быть произведены в России. Возможность применения импортных компонентов допускается исключительно с одобрения заказчика.

Завершение всех работ по проекту запланировано на 30 ноября 2029 года. Победитель конкурсного отбора был определён 19 июня, однако его данные не опубликованы в Единой информационной системе в сфере закупок.

• Телеграм
• Дзен
• Подписывайтесь на наши каналы и первыми узнавайте о главных новостях и важнейших событиях дня.